蒸着材成分特性説明
| No. | 材料名 | Grade | 寸法 | 分子量 | 融点 | 沸点 | 密度 | 表面 | 用途 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 銅 – 5N | 5N | Φ6*6mm (Ag＜10ppm) | 63.55 | 1083℃ | 2562℃ | 8.94g/cm³ | 酸洗 | 電子、通信、宇宙航空分野等 | |
| 2 | 銅 – 3N7 | 3N7 | Φ6*6mm | 63.55 | 1083℃ | 2562℃ | 8.94g/cm³ | 酸洗 | ||
| Φ3*3mm | 63.55 | 1083℃ | 2562℃ | 8.94g/cm³ | 酸洗 | |||||
| 3 | Al – 5N | 5N | Φ3*3mm | 36.98 | 660.4℃ | 2519℃ | 2.70g/cm³ | 研磨 | 電子工業、半導体材料、ターゲット材及びその他特殊用途 | |
| 4 | Al – 4N | 4N | Φ6*6mm | 36.98 | 660.4℃ | 2519℃ | 2.70g/cm³ | 研磨 | ||
| Φ6*13mm | 36.98 | 660.4℃ | 2519℃ | 2.70g/cm³ | 研磨 | |||||
| 5 | Fe – 5N | 5N | Φ6*6mm | 55.85 | 1538℃ | 2861℃ | 7.87g/cm³ | 研磨 | 薄膜形成及び宇宙航空関連、電子工業関連 | |
| 6 | Ti – 5N | 5N | Φ3*3mm | 47.88 | 1668℃ | 3277℃ | 4.506g/cm³ | 酸洗 | 半導体材料、スパッタリングターゲット材 | クリーン処理されている特殊ビニール袋での真空包装 |
| 7 | Ni – 4N5 | 4N5 | Φ3*3mm | 58.69 | 1455℃ | 2732℃ | 8.908g/cm3 | 酸洗 | スパッタリングターゲット、特殊電子材料、合金材料 | クリーン処理されている特殊ビニール袋での真空包装 |
| Φ6*6mm | 58.69 | 1455℃ | 2732℃ | 8.908g/cm3 | 酸洗 | |||||
| 8 | Ni – 4N | 4N | Φ6*6mm | 58.69 | 1455℃ | 2732℃ | 8.908g/cm3 | 酸洗 | ||
| Φ3*3mm | 58.69 | 1455℃ | 2732℃ | 8.908g/cm3 | 酸洗 | |||||
| 9 | Ni – 3N5 | 3N5 | Φ6*6mm | 58.69 | 1455℃ | 2732℃ | 8.908g/cm3 | 酸洗 | ||
| 10 | Fe – 3N5 | 3N5 | Φ3*3mm | 55.85 | 1538℃ | 2861℃ | 7.87g/cm³ | 研磨 | 薄膜形成及び宇宙航空関連、電子工業関連 | |
| 11 | Zr – 2N4 | 2N4 | Φ2*5mm | 91.22 | 1855℃ | 3580℃ | 6.506g/cm³ | 研磨 | ターゲット材、真空部品、その他特殊用途 | |
| 12 | W – 3N5 | 3N5 | Φ3*6mm | 183.85 | 3410℃ | 5900℃ | 19.3g/cm³ | 研磨 | ターゲット材、真空部品、その他特殊用途 | |
| 13 | Mo – 3N5 | 3N5 | Φ3*3mm | 95.94 | 2623℃ | 4639℃ | 10.3g/cm³ | 電子工業、ターゲット材、真空部品 | ||
| 14 | Ag – 4N | 4N | Φ3*6mm | 107.87 | 961.8℃ | 2210℃ | 10.5g/cm³ | 電子工業、ターゲット材、真空部品 | ||
| 15 | BaF2 – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 175.32 | 1360℃ | 4.80g/cm³ | 蒸着材 ※ 無色結晶体、蒸気有毒の為取扱注意必要 | |||
| 4N | 不規則3～6mm | 175.32 | 1360℃ | 4.80g/cm³ | ||||||
| 16 | YF3 – 3N5 | 3N5 | 不規則1～3mm | 蒸着材 | ||||||
| 不規則3～6mm | 蒸着材 | |||||||||
| 17 | YbF2 – 3N5 | 3N5 | 不規則1～3mm | 蒸着材 | ||||||
| 不規則3～6mm | 蒸着材 | |||||||||
| 18 | CeF2 – 3N5 | 3N5 | 不規則1～3mm | 1418℃ | 6.16g/cm³ | 蒸着材 | ||||
| 3N5 | 不規則3～6mm | 蒸着材 | ||||||||
| 19 | TiO – 3N | 3N | Φ9*5mm | 研磨 | 蒸着材 | |||||
| 20 | Ti305 – 3N5 | 3N5 | 不規則1～3mm | 研磨 | 蒸着材 | |||||
| 不規則3～6mm | 研磨 | 蒸着材 | ||||||||
| 21 | Ti02 – 4N | 4N(黒色) | Φ8*5mm | 79.87 | 4.29 g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞95% | |||
| 4N(白色) | Φ8*8mm | 79.87 | 4.29 g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞95% | |||||
| 22 | ZnS – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 97.44 | 4.09 g/cm³ | 蒸着材 | ||||
| 不規則3～6mm | 97.44 | 4.09 g/cm³ | 蒸着材 | |||||||
| 23 | FeTi03 | FeTi03 | 不規則1～3mm | 蒸着材 | ||||||
| 不規則3～6mm | 蒸着材 | |||||||||
| 24 | B4C – 2N5 | 2N5 | 不規則1～3mm | 55.26 | 2350℃ | 3500℃ | 蒸着材 | |||
| 不規則3～6mm | 55.26 | 2350℃ | 3500℃ | 蒸着材 | ||||||
| 25 | MoO3 – 3N | 3N | 不規則1～3mm | 143.94 | 795℃ | 4.69g/cm³ | 蒸着材 | |||
| 不規則3～6mm | 143.94 | 795℃ | 4.69g/cm³ | 蒸着材 | ||||||
| 26 | MgO – 3N5 | 3N5 | 不規則1～3mm | 40.3 | 2852℃ | 3.58g/cm³ | 蒸着材 | |||
| 不規則3～6mm | 40.3 | 2852℃ | 3.58g/cm³ | 蒸着材 | ||||||
| 27 | Fe203 3N5 | 3N5 | 不規則1～3mm | 159.6882 | 1565℃ | 3414 °C | 5.24 g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞70% | |
| 不規則3～6mm | 159.6882 | 1565℃ | 3414 °C | 5.24 g/cm³ | 蒸着材 | |||||
| 28 | WO3 – 3N | 3N | 不規則1～3mm | 215.8388 | 1473℃ | 1837℃ | 7.27g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞65% | |
| 不規則3～6mm | 215.8388 | 1473℃ | 1837℃ | 7.27g/cm³ | 蒸着材 | |||||
| 29 | NiO – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 74.69 | 1984℃ | 6.67g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞60% | ||
| 不規則3～6mm | 74.69 | 1984℃ | 6.67g/cm³ | 蒸着材 | ||||||
| 30 | TiC – 2N5 | 2N5 | 不規則1～3mm | 59.91 | 3140℃ | 4820℃ | 4.93g/cm³ | 蒸着材 | ||
| 不規則3～6mm | 59.91 | 3140℃ | 4820℃ | 4.93g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞60% | ||||
| 31 | Cr203 – 3N | 3N | 不規則1～3mm | 151.99 | 2266℃ | 4000℃ | 5.21g/cm³ | 蒸着材 | 相対密度：＞60% | |
| 不規則3～6mm | 151.99 | 2266℃ | 4000℃ | 5.21g/cm³ | 蒸着材 | |||||
| 32 | Sn02 – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 150.69 | 1630℃ | 1900℃ | 6.38g/cm³ | 相対密度：＞55% | ||
| 不規則3～6mm | 150.69 | 1630℃ | 1900℃ | 6.38g/cm³ | ||||||
| 33 | LaTiO3 – 3N | 3N | 不規則1～3mm | 蒸着材 | ||||||
| 不規則3～6mm | ||||||||||
| 34 | Al203 – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 101.96 | 2050ºC | 2980ºC | 3.5-3.9g/cm3 | 相対密度：＞95% | ||
| 35 | MgF2 – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 62.3018 | 1261ºC | 2260ºC | 3.148g/cm3 | 相対密度：＞99% | ||
| 不規則3～6mm | 62.3018 | 1261ºC | 2260ºC | 3.148g/cm3 | ||||||
| 36 | Hf02 – 3N | 3N | 不規則1～3mm | 210.4888 | 2182ºC | 9.68g/cm3 | 相対密度：＞60% | |||
| 不規則3～6mm | 210.4888 | 2182ºC | 9.68g/cm3 | 相対密度：＞60% | ||||||
| 37 | HfO2 – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 210.4888 | 2182ºC | 9.68g/cm3 | 相対密度：＞60% | |||
| 不規則3～6mm | 210.4888 | 2182ºC | 9.68g/cm3 | 相対密度：＞60% | ||||||
| 38 | HfO – 4N | 4N | Φ18*8mm | 210.4888 | 2182ºC | 9.68g/cm3 | 相対密度：＞60% | |||
| 39 | ITO(濃いブルー) – 4N | 4N | 不規則1～3mm | |||||||
| 不規則3～6mm | ||||||||||
| 40 | ZrO2(白色) | ZrO2(白) | 不規則1～3mm | 123.22 | 2700ºC | 4300ºC | 5.89g/cm3 | 相対密度：＞65% | ||
| 不規則3～6mm | 123.22 | 2700ºC | 4300ºC | 5.89g/cm3 | 相対密度：＞65% | |||||
| 41 | Zr02(黒色) | Zr02(黒) | 不規則1～3mm | 123.22 | 2700ºC | 4300ºC | 5.89g/cm3 | 相対密度：＞65% | ||
| 不規則3～6mm | 123.22 | 2700ºC | 4300ºC | 5.89g/cm3 | 相対密度：＞65% | |||||
| 42 | Ge – 5N | 5N | 不規則1～3mm | 72.64 | 938.25℃ | 2830℃ | 5.35g/cm3 | 相対密度：＞100% | ||
| 不規則3～6mm | 72.64 | 938.25℃ | 2830℃ | 5.35g/cm3 | 相対密度：＞100% | |||||
| 43 | V – 2N5 | 2N5 | 6×6×6mm | 50.9415 | 1890℃ | 3000℃ | 6.11g/cm3 | 酸洗/研磨 | ||
| 44 | Pb – 4N5 | 4N5 | 不規則1～3mm | 207.2 | 327.502℃ | 1749℃ | 11.3437g/cm3 | 研磨 | ||
| 不規則3～6mm | 207.2 | 327.502℃ | 1749℃ | 11.3437g/cm3 | 研磨 | |||||
| 45 | La – 3N | 3N | 3～10mm | 138.91 | 920℃ | 3464℃ | 6.17g/cm3 | |||
| 46 | Ce – 3N | 3N | 6×6×6mm | 140.116 | 799℃ | 3426℃ | 6.7g/cm3 | アセトン研磨 | ||
| 47 | Gd – 3N5 | 3N5 | 3～10mm | 157.25 | 1311℃ | 3233℃ | 7.9g/cm3 | |||
| 48 | Y – 3N5 | 3N5 | 3～10mm | 88.90585 | 1522℃ | 3338℃ | 4.4689g/cm3 | |||
| 49 | Dy – 3N | 3N | 3～10mm | 162.5 | 1409℃ | 2562℃ | 8.54g/cm3 | |||
| 50 | Ba – 3N | 3N | 3～10mm | 137.327 | 725℃ | 1600℃ | 3.51g/cm3 | |||
| 51 | Ca – 2N5 | 2N5 | 不規則1～3mm | 40.078 | 839℃ | 1484℃ | 1.54g/cm3 | アトマイズ造粒 | ||
| 52 | Mg – 3N5 | 3N5 | 4mm位 | 24.305 | 648.8℃ | 1107℃ | 1.74g/cm3 | 自然光沢 | ||
| 53 | Nb – 3N5 | 3N5 | 5×5×5mm | 92.90638 | 2468℃ | 4742℃ | 8.57g/cm3 | カット酸洗 | ||
| 54 | 単結晶Si – 5N | 5N | 不規則1～3mm | |||||||
| 55 | IZO – 4N(90/10) | 4N(90/10) | 不規則3～6mm | |||||||
| 56 | AZO – 4N(98/2) | 4N(98/2) | 不規則3～6mm | |||||||
| 57 | GZO – 4N(95/5） | 4N(95/5） | 不規則3～6mm | |||||||
| 58 | GZO – 4N（97/3） | 4N（97/3） | 不規則3～6mm | |||||||
| 59 | GZO – 4N（98/2） | 4N（98/2） | 不規則3～6mm | |||||||
| 60 | ZnO – 4N | 4N | 不規則3～6mm | 81.39 | 1975℃ | 2360℃ | 5.606g/cm3 | |||
| 61 | BN – 2N5 | 2N5 | 不規則3～6mm | 24.8177 | 3000℃ | 2.266g/cm3 | ||||
| 62 | TiB2 – 2N5 | 2N5 | 不規則3～6mm | 2980℃ | 4.52g/cm3 | |||||
| 63 | SiO2 – 4N | 4N | 不規則1～3mm | 60.08 | 1650(±50)℃ | 2230℃ | 2.65g/cm3 | |||
| 不規則3～6mm | ||||||||||
| 64 | 結晶Hf片 – 3N5 | 3N5 | Φ20*5mm | 178.49 | 2227℃ | 4602℃ | 13.31g/cm³ |